各種表面改質全般（真空表面処理法）の窓口

現在真空成膜でお困り事はありませんか、密着性が悪い、基材への回り込みが感出ない、現行の膜種では期待したほど効果が出ない。

また、現行の膜の能力を更にＵＰさせたいがその方法が判らないなど、なんなりとご相談ください。

適切な回答をさせて頂きます。

弊社では、多くの成膜プロセスをもって、目的にかなった膜種、プロセスなどをご紹介ができます。

真空蒸着材料の調達支援

チタン,クロム,ニオブ,モリブデン,金,銀など多くの種類の金属および２元系,
３元系金属合金およびレアメタルなどのレニユーム,イリジューム,サマリューム,などを複雑な形状に加工します。
他,酸化物などの真空蒸着装置で使用する蒸発材料などもリーズナブルな価格で提供します。

仕様に応じました寸法,形状に加工しましてバッキングプレートへボンディングまでお引き受け致します。

また,使い古しの特殊な材料のリサイクル加工などにも対応致します。

真空技術に関するコンサルタント

眞空蒸着装置、他真空熱処理装置等を所有しているが、上手く稼働させておらず稼働率が著しく悪いなどお困り方へ朗報です。

また、真空成膜装置で表面処理を行っているが、目的の膜種が出来ないで困っているなどありましたら、的確なサポートをさせて

頂きます。

• イオンプレーティング法（金属間化合部、HCD法、AIP法、IAD法等）
• 特殊金属の真空成膜法（Ir、Re、Y、他）
• 半導体装置向けののIAD法によるY2O３膜のコーティングなど
• 多層膜（2層、3層、10層、更なる積層も可能）
• チタン系の成膜（TiN膜、TiAlN膜、他のTi化合物の窒化物、炭化物、硫化物、他）
• スパッタ等による希土類金属での高耐食膜