スパッタ装置

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スパッタ装置

電子デバイス向け、あるいは金属間化合物を膜表面を平滑しながら、多層膜(異なる膜の多層膜など)の成膜が可能です。
また、基材が樹脂などでもコーティングが可能です。
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