ホーム PVD/CVD
＊ＥＢによるアシスト電極・ＲＦ法・ＡＲＥ法
＊ＨＣＤ法（ホロー・カソード・ディスチャージ）
＊ＡＩＰ法（アーク・イオン・プレーティング）
＊イオンアシスト法（イオンガン）・プラズマ照射
＊スパッタ法（ＵＢＭ）（ＤＣ）
＊ＰＣＶＤ法・ALD法
＊抵抗加熱法
