ＭＳリサーチ

• 会社概要
• 事業内容
  • 真空蒸着コーティングプロセスの開発
  • 特殊材料のご提供（石英材、セラミック材、他酸化物）
  • 真空装置の管理
  • ドライコーティングサービス窓口
  • 真空蒸発用材料のご提供
  • 真空装置の製作及び改造
  • 真空装置の内部冶具の製作及び改造
  • スパッタターゲット材の製作
• コンサルタント
  • 真空装置の管理
  • コーティングプロセスの開発
  • 窒化物の開発
  • 炭化物の開発
  • イオンプレーティング装置
  • スパッタ装置
  • ロールコーター装置
• 機械加工
  • Ti（チタン系）材料の機械加工
  • Nb（ニオブ系）材料の機械加工
  • Zr（ジルコニュウム系）材料の機械加工
  • 他、多種材料の機械加工
• DLC膜
  • スパッタDLC膜の受託コーティング窓口
  • CVD法DLC膜の受託コーティング窓口
  • ３ｍ長さの物までCVD法DLC膜が可能です。
  • 医療器具へのDLC膜（ステント、内視鏡、他）が可能
  • 絶縁DLC膜、導電DLC[膜が可能です
  • 滑り性、硬さ、黒色のDLC膜の受託コーティング窓口
• イオンプレーティング
  • HCD法のイオンプレーティング受託加工窓口
  • AIP法のイオンプレーティング受託加工窓口
  • スパッタ法のイオンプレーティング受託加工窓口
  • EB法のイオンプレーティング受託加工窓口
  • 合金蒸発材でのイオンプレーティング受託加工窓口
  • 多層膜イオンプレーティング受託加工窓口
• PVD/CVD
  • CVD法の多種コーティング受託加工窓口
  • PVD法の多種コーティング受託加工窓口
  • CVD法での多種酸化物コーティング受託加工窓口
  • CVD法での多種窒化物コーティング受託加工窓口
  • CVD法でのDLC膜のコーティング受託加工窓口
  • CVD法でのALDプロセスでの多種受託加工窓口
• スパッタリングターゲット
  • Ti（チタン系）ターゲット材
  • 多種Ti（チタン系）合金ターゲット材
  • ２元系、3元系、4元系ターゲット材
  • Nb（ニオブ系）ターゲット材
  • Mo（モリブデン系）ターゲット材
  • 板材、丸形状他ターゲット材
  • 各種シリンドリカルターゲット材
  • Ta、Le、Ir、他希土類系ターゲット材
• CrN膜
  • 医療器具へのCrN膜コーティング受託加工窓口
  • HCD法でのCrN膜コーティング受託加工窓口
  • AIP法でのCrN膜コーティング受託加工窓口
  • ナイロン66などの樹脂成型用金型への応用
  • 白っぽい色の場合応用が可能です。
• TiN膜コーティング
  • 硬い、滑るTi（チタン系）の窒化物
  • Ti合金（Ti-Al、Ti-Cr、Ti-Nbなど）窒化物
  • 高真空中での放出ガスを抑制します。
  • 機械加工の治工具への応用が可能
  • 装飾用としての応用

ホーム スパッタリングターゲット Nb（ニオブ系）ターゲット材